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原子層沉積(ALD)招標預告

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原子層沉積(ALD)
(略) 在采購意向： (略) * 月政府采購意向
采購單位： (略)
采購項目名稱：原子層沉積(ALD)
預算金額： * . *** 萬元(人民幣)
采購品目：
A *** 其他電工電子專用生產設備
采購需求概況：
PEALD(等離子增強原子層沉積)，支持氧化鋁、氧化鉿、氧化鋅、氧化錫、氮化鈦沉積。等離子、NH3、O3源，多路固體源.氧化鉿、氧化鋁等氧化物、氮化物薄膜制備，分子層級別的沉積，速率穩(wěn)定，臺階覆蓋能力超級好。最高溫度可到 * ~ * 度。最高速度可達2秒/周期約0.1nm鍍膜。
預計采購時間： ***
備注：

本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排， (略) 和采購文件為準。

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